Equipements

Dispositifs d'élaboration de matériaux (couches minces, massif céramique)

  • PLD : dépôt par ablation laser pulsée, avec laser à excimère KrF 248 nm (Compex 102 COHERENT) et avec RHEED
  • PVD-Sputtering : dépôt par pulvérisation cathodique magnétron radio-fréquence (PLASSYS)
  • PVD-Sputtering : dépôt par pulvérisation cathodique magnétron radio-fréquence (Petite pulvé)
  • PVD-Sputtering - Métalliseur (CRESSINGTON Sputter Coater 108auto + CRESSINGTON Thickness Monitor mtm10)
  • PECVD : dépôt chimique en phase vapeur assistée par plasma (PLASSYS, CVD 300)
  • CVD : dépôt chimique en phase vapeur capacitive et inductive (four tubulaire)
  • Spin coating : dépôt par sol-gel
  • Screen printing
  • Four tubulaire T° < 1400 °C (S4R, 1700C-80IC)

Caractérisation plasma/gaz

  • Spectromètre de masse (adapté au sputtering-PVD Plassys)

Caractérisation structurale

  • Diffractomètre à Rayons X - 2 cercles (BRUKER, D5000)
  • Diffractomètre à Rayons X - 4 cercles pour couches minces (BRUKER, D8-Discover)
  • Spectromètre Raman avec laser accordable (HORIBA - JOBIN YVON, T64000)
  • Spectromètre Raman avec 3 lasers (rouge - vert - ultraviolet) (RENISHAW) et avec cellule haute pression à enclumes diamants (BETSA)
  • Equipements pour les mesures Raman en fonction de la température : Platines chauffantes avec contrôleur et refroidisseur (LINKAM, HFS600 et TS1500)

Caractérisation optique

  • Spectrophotomètre UV-visible-N IR (JASCO, V-670)
  • Spectrophotomètre UV-visible-N IR (VARIAN, Cary 5E)
  • Spectromètre FT-IR ATR (THERMOFISHER, Nicolet iS50)
  • Réflectomètre spectroscopique pour couches minces UV-visible-N IR (MIKROPACK, NanoCalc-2000)
  • Simulateur solaire (ORIEL, 68835)
  • Spectroscopie de déflexion photothermique (PDS) avec Simulateur solaire (ORIEL, 68831) et Monochromateur (JOBIN YVON, SPEX 270M)

Caractérisation de surface

  • AFM : Microscope à Force Atomique (NT-MDT, NTEGRA) (Plateforme de Microscopie Electronique)
  • Mesure d’angle de contact (énergie de surface)
  • Profilomètre à contact (BRUKER, Dektak XT)

Caractérisation mécanique

  • Système polyvalent de tribologie (BRUKER, UMT Tribolab (Universal Mechanical Tester))
  • Tribomètre (TRIBOTECHNIC, Tribotester)

Caractérisation électrique

  • Spectroscopie d'impédance, Mesures C-V (SOLARTRON, SI 1260)
  • Spectroscopie d'impédance (HIOKI, IM3570)
  • Ferroélectricité - Cycle d’Hystérésis, Mesures P-E, Mesures C-V (aixACCT, TF Analyser 3000)
  • Sourcemètre - Mesures I-V (KEITHLEY, 2657A)
  • Sourcemètre - Mesures I-V (KEITHLEY, 2635B)
  • Electromètre pour pyroélectricité (KEITHLEY, 6517A)
  • Multimètre graphique haute précision 7,5 digits (KEITHLEY, DMM7510)
  • Potentiostat pour mesures électrochimiques (PalmSens4)
  • Mesures 4 pointes
  • Equipement pour les mesures électriques en fonction de la température : Platines chauffantes avec sondes électriques, contrôleur et refroidisseur (LINKAM, THMSE600 et HFS350 et HFS600)
  • Equipement pour la préparation des échantillons : Micro-câblage Wire Bonder (TPT, HB05)

Caractérisation magnétique

  • Magnétomètre-PPMS (QUANTUM DESIGN, Dynacool)

Autres équipements

  • Imprimante 3D (RAISED3D, N2)
  • Déminéralisateur (VEOLIA, Aquadi 250)
  • Etuve
  • Petite chimie paillasse (bain ultrasons, balance, four …)