Équipements - LPMC
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Dispositifs d'élaboration de matériaux (couches minces, massif céramique)
- PLD : dépôt par ablation laser pulsée, avec laser à excimère KrF 248 nm (Compex 102 COHERENT) et avec RHEED
- PVD-Sputtering : dépôt par pulvérisation cathodique magnétron radio-fréquence (PLASSYS)
- PVD-Sputtering : dépôt par pulvérisation cathodique magnétron radio-fréquence (Petite pulvé)
- PVD-Sputtering - Métalliseur (CRESSINGTON Sputter Coater 108auto + CRESSINGTON Thickness Monitor mtm10)
- PECVD : dépôt chimique en phase vapeur assistée par plasma (PLASSYS, CVD 300)
- CVD : dépôt chimique en phase vapeur capacitive et inductive (four tubulaire)
- Spin coating : dépôt par sol-gel
- Screen printing
- Four tubulaire T° < 1400 °C (S4R, 1700C-80IC)
Caractérisation plasma/gaz
- Spectromètre de masse (adapté au sputtering-PVD Plassys)
Caractérisation structurale
- Diffractomètre à Rayons X - 2 cercles (BRUKER, D5000)
- Diffractomètre à Rayons X - 4 cercles pour couches minces (BRUKER, D8-Discover)
- Spectromètre Raman avec laser accordable (HORIBA - JOBIN YVON, T64000)
- Spectromètre Raman avec 3 lasers (rouge - vert - ultraviolet) (RENISHAW) et avec cellule haute pression à enclumes diamants (BETSA)
- Equipements pour les mesures Raman en fonction de la température : Platines chauffantes avec contrôleur et refroidisseur (LINKAM, HFS600 et TS1500)
Caractérisation optique
- Spectrophotomètre UV-visible-N IR (JASCO, V-670)
- Spectrophotomètre UV-visible-N IR (VARIAN, Cary 5E)
- Spectromètre FT-IR ATR (THERMOFISHER, Nicolet iS50)
- Réflectomètre spectroscopique pour couches minces UV-visible-N IR (MIKROPACK, NanoCalc-2000)
- Simulateur solaire (ORIEL, 68835)
- Spectroscopie de déflexion photothermique (PDS) avec Simulateur solaire (ORIEL, 68831) et Monochromateur (JOBIN YVON, SPEX 270M)
Caractérisation de surface
- AFM : Microscope à Force Atomique (NT-MDT, NTEGRA) (Plateforme de Microscopie Electronique)
- Mesure d’angle de contact (énergie de surface)
- Profilomètre à contact (BRUKER, Dektak XT)
Caractérisation mécanique
- Système polyvalent de tribologie (BRUKER, UMT Tribolab (Universal Mechanical Tester))
- Tribomètre (TRIBOTECHNIC, Tribotester)
Caractérisation électrique
- Spectroscopie d'impédance, Mesures C-V (SOLARTRON, SI 1260)
- Spectroscopie d'impédance (HIOKI, IM3570)
- Ferroélectricité - Cycle d’Hystérésis, Mesures P-E, Mesures C-V (aixACCT, TF Analyser 3000)
- Sourcemètre - Mesures I-V (KEITHLEY, 2657A)
- Sourcemètre - Mesures I-V (KEITHLEY, 2635B)
- Electromètre pour pyroélectricité (KEITHLEY, 6517A)
- Multimètre graphique haute précision 7,5 digits (KEITHLEY, DMM7510)
- Potentiostat pour mesures électrochimiques (PalmSens4)
- Mesures 4 pointes
- Equipement pour les mesures électriques en fonction de la température : Platines chauffantes avec sondes électriques, contrôleur et refroidisseur (LINKAM, THMSE600 et HFS350 et HFS600)
- Equipement pour la préparation des échantillons : Micro-câblage Wire Bonder (TPT, HB05)
Caractérisation magnétique
- Magnétomètre-PPMS (QUANTUM DESIGN, Dynacool)
Autres équipements
- Imprimante 3D (RAISED3D, N2)
- Déminéralisateur (VEOLIA, Aquadi 250)
- Etuve
- Petite chimie paillasse (bain ultrasons, balance, four …)
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